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  • 清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī)
    清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備,最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶的技術(shù)要求,提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī),以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
  • 上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備
    上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月,上海交通大學(xué)采購(gòu)我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻,涂覆面積為150*150mm,具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
  • 電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠
    電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠 電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備,包括PLUTO-T等離子清洗機(jī),PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等,用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有:晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)主要包含以下五個(gè)模塊
國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)主要包含以下五個(gè)模塊

國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)的核心結(jié)構(gòu)圍繞等離子體生成與樣品處理需求設(shè)計(jì),主要包含以下模塊:①控制單元采用半自動(dòng)、全自動(dòng)、PC電腦或液晶觸摸屏控制方式,實(shí)現(xiàn)參數(shù)調(diào)節(jié)、設(shè)備監(jiān)...

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  • 認(rèn)識(shí)實(shí)驗(yàn)室里的“超級(jí)清潔工”——實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)
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  • 等離子去膠機(jī)的低溫特性可適用于熱敏感材料使用
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技術(shù)文章| Technical articles

什么是等離子表面處理機(jī)?
什么是等離子表面處理機(jī)?

等離子表面處理機(jī)(又稱等離子清洗機(jī))是一種利用等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行清洗、活化和涂層處理的設(shè)備。其核心原理是通過(guò)高壓高頻能量激發(fā)氣體(如氧氣、氬氣等)產(chǎn)生低溫等離子體,其中包含高能電子、離子、自由基和中性粒子。這些活性粒子與材料表面發(fā)生物理轟擊和化學(xué)反應(yīng),實(shí)現(xiàn)表面改性。等離子表面處理機(jī)的核心作用與優(yōu)勢(shì):表面清洗:去除脫模劑、添加劑、油脂等有機(jī)污染物,以及灰塵、氧化物等無(wú)機(jī)雜質(zhì)。表面活化:引入含氧極性基團(tuán)(如羥基、羧基),提高材料表面能,增強(qiáng)潤(rùn)濕性和粘附力。表面涂層:通過(guò)等離子...

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  • 有哪些方法可以提高等離子刻蝕機(jī)的刻蝕均勻性?
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  • 如何控制等離子刻蝕機(jī)的刻蝕均令性?
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  • 等離子刻蝕機(jī)在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用案例
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